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                高分辨率臺式掃描電鏡是一種大型精密儀器

                 發布時間:2020-04-23 點擊量:56
                  高分辨率臺式掃描電鏡由三大部分組成:真空系統,電子束系統以及成像系統,是一種大型精密儀器,它是機械學、光學、電子學、熱學、材料學、真空技術等多門學科的綜合應用。
                  真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器,真空泵用來在真空柱內產生真空,有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類,機械泵加油擴散泵的組合可以滿足真空要求,需要機械泵加渦輪分子泵的組合。成像系統和電子束系統均內置在真空柱中,真空柱底端即為右圖所示的密封室,用于放置樣品。
                  之所以要用真空,主要基于以下兩點原因:電子束系統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM時需要用真空以外,平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。為了增大電子的平均自由程,從而使得用于成像的電子更多。熱發射電子需要電磁透鏡來成束,所以在用熱發射電子槍的SEM上,電磁透鏡必不可少。
                  通常會裝配兩組:匯聚透鏡:顧名思義,匯聚透鏡用匯聚電子束,裝配在真空柱中,位于電子槍之下。通常不止一個,并有一組匯聚光圈與之相配。但匯聚透鏡僅僅用于匯聚電子束,與成像會焦無關。物鏡:物鏡為真空柱中下方的一個電磁透鏡,它負責將電子束的焦點匯聚到樣品表面。高分辨率臺式掃描電鏡被廣泛用于材料科學、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害鑒定、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。

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